Cujzek, Branko (2009) Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB. = Master's thesis (Bologna) , Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, UNSPECIFIED. Mentor: Mahović, Sanjin.
|
Text
20_03_2009_diplomski_bc.pdf - Published Version Jezik dokumenta:Croatian Download (3MB) | Preview |
Abstract (Croatian)
U radu je dan pregled mjernih metoda i uređaja koji se danas najčešće koriste na području mikro i nano mjeriteljstva duljina. Zbog sve većih zahtijeva u današnje vrijeme koji se odnose na mjerenje, klasičnim se mjernim metodama ne mogu osigurati zahtijevane točnosti, tako da je uvođenje mikro i nano tehnologija potaknulo intenzivan razvoj potencijalnih postojećih mjernih metoda i uređaja kao i potpuno novih metoda, isto tako i uređaja koji mogu zadovoljiti takve mjerne zahtjeve, uz osvrt na problem osiguravanja sljedivosti i umjeravanja. Nakon toga ocijenjena je mogućnost Laboratorija za precizna mjerenja dužina FSB-a u osiguravanju sljedivosti na području mjeriteljstva dubina brazda, te je opisana interferencijska metoda mjerenja dubine brazde kao i polarizacijska metoda mjerenja debljine SiO2 sloja. Zatim je dan prikaz tehničkih karakteristika elipsometra AutoEL uz opisan sam princip rada istog. U eksperimentalnom dijelu rada izmjerena je debljina SiO2 sloja na elipsometru AutoEL IV, te je izvršena usporedba dobivenih rezultata s rezultatima dubine brazde koji su već ranije izmjereni pomoću interferencijskog mikroskopa Epival-Interphako.
| Item Type: | Thesis (Master's thesis (Bologna)) |
|---|---|
| Uncontrolled Keywords: | etaloni hrapavosti; dubina brazde; interferencija svjetlosti; polarizacija svjetlosti |
| Divisions: | 800 Department of Quality > 810 Chair of Precise Measurement and Quality |
| Date Deposited: | 22 Sep 2014 18:00 |
| Last Modified: | 20 Oct 2021 08:58 |
| URI: | http://repozitorij.fsb.hr/id/eprint/582 |
Actions (login required)
 |
View Item |
Download Statistics
Download Statistics