Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB

Cujzek, Branko (2009) Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB. = Master's thesis (Bologna) , Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, UNSPECIFIED. Mentor: Mahović, Sanjin.

[img]
Preview
Text
20_03_2009_diplomski_bc.pdf - Published Version Jezik dokumenta:Croatian

Download (3MB) | Preview

Abstract (Croatian)

U radu je dan pregled mjernih metoda i uređaja koji se danas najčešće koriste na području mikro i nano mjeriteljstva duljina. Zbog sve većih zahtijeva u današnje vrijeme koji se odnose na mjerenje, klasičnim se mjernim metodama ne mogu osigurati zahtijevane točnosti, tako da je uvođenje mikro i nano tehnologija potaknulo intenzivan razvoj potencijalnih postojećih mjernih metoda i uređaja kao i potpuno novih metoda, isto tako i uređaja koji mogu zadovoljiti takve mjerne zahtjeve, uz osvrt na problem osiguravanja sljedivosti i umjeravanja. Nakon toga ocijenjena je mogućnost Laboratorija za precizna mjerenja dužina FSB-a u osiguravanju sljedivosti na području mjeriteljstva dubina brazda, te je opisana interferencijska metoda mjerenja dubine brazde kao i polarizacijska metoda mjerenja debljine SiO2 sloja. Zatim je dan prikaz tehničkih karakteristika elipsometra AutoEL uz opisan sam princip rada istog. U eksperimentalnom dijelu rada izmjerena je debljina SiO2 sloja na elipsometru AutoEL IV, te je izvršena usporedba dobivenih rezultata s rezultatima dubine brazde koji su već ranije izmjereni pomoću interferencijskog mikroskopa Epival-Interphako.

Item Type: Thesis (Master's thesis (Bologna))
Uncontrolled Keywords: etaloni hrapavosti; dubina brazde; interferencija svjetlosti; polarizacija svjetlosti
Divisions: 800 Department of Quality > 810 Chair of Precise Measurement and Quality
Date Deposited: 22 Sep 2014 18:00
Last Modified: 16 Oct 2015 13:11
URI: http://repozitorij.fsb.hr/id/eprint/582

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year

Nema podataka za dohvacanje citata